製品属性(仕様)

製品画像(様子)

特徴

このステンレス製の精密加工品は、各種ウエハを吸着するために使用されるテーブルであり、平面度・平行度3μm以下を要求される高難度製品です。テーブル表面にはマシニングによる段差加工、裏面にはマシニングによる溝加工をおこなっているのですが、材料のSUS304は熱伝導率が小さく、展延性、加工硬化性の高い特性を持つ難削材であるため、被削材の膨張による過研削（被削材のひずみ）が発生しないように注意が必要です。また、砥石が素材に食い込むことによる焼き付き現象も発生しやすい精密加工品です。