製品属性(仕様)

製品画像(様子)

特徴

この装置部品は、半導体製造装置のレール部分に使用されるSKD11製の精密切削加工品です。レール部分に使用され激しい摩耗を受ける部品であるため焼き入れ材を使用し強度アップしています。また、上面・下面のレール部分の平面度・平行度を5μm以内に仕上げる必要があるため、最後のメッキ処理を考慮し、ほぼゼロ狙いにてレール部分に高精度成形研削加工を施しています。超硬加工.COMでは、超硬以外のこうしたSKD11などの材質に対しても、社内の設備を活用した精密加工品をご提供しています。