製品属性(仕様)

製品画像(様子)

特徴

このウエハステージベースはA5052のアルミ合金を使用しています。5000番台のアルミ合金はマグネシウムを主要添加物質としたAl-Mg合金であり、A5052は種々のアルミ合金の中でも、強度、耐食性のバランスに優れているため、切削加工には良く使用される材質です。しかし、研削加工においては砥石の目づまりが発生しやすいという特徴にもなります。ベースとして使用されるため平面度、平行度が重視されるので、高精度な研磨加工がポイントとなります。